[发明专利]一种胶杯自动清洗的方法有效
| 申请号： | 201310536266.3 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN104607430A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李晓飞;王冲 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/28 | 分类号： | B08B9/28 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体行业光刻工艺中的旋转涂胶技术领域，具体地说是一种胶杯自动清洗的方法。所述方法是在涂胶平台上设有胶杯和胶臂，所述胶臂上设有多个涂胶胶嘴，各涂胶胶嘴分别与一路胶管连接，所述胶臂上还设有清洗喷嘴，所述清洗喷嘴通过清洗管路与清洗液罐连接，所述清洗喷嘴通过胶臂移动到胶杯内晶元的上方、并喷洒清洗液，所述晶元旋转将清洗液甩到胶杯内壁上对残留胶液进行清洗。本发明无需将胶杯拆下，将残留胶液有效地从胶杯上清除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种胶杯自动清洗的方法，其特征在于：涂胶平台上设有胶杯(1)和胶臂(2)，所述胶臂(2)上设有多个涂胶胶嘴，各涂胶胶嘴分别与一路胶管连接，所述胶臂(2)上还设有清洗喷嘴，所述清洗喷嘴通过清洗管路与清洗液罐连接，所述清洗喷嘴通过胶臂(2)移动到胶杯(1)内晶元(5)的上方、并喷洒清洗液，所述晶元(5)旋转将清洗液甩到胶杯(1)内壁上对残留胶液进行清洗。
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