[发明专利]一种显影液分类回收处理装置及方法在审
| 申请号： | 201310536267.8 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN104614953A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张浩渊 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体制造中溶液分类回收处理的技术领域，具体地说是一种显影液分类回收处理装置及方法。包括三通药液阀、显影溶剂收集罐、主排废管、显影液排放管及DI水排放管，其中三通药液阀和显影溶剂收集罐设置于显影单元的下方、并三通药液阀通过主排废管与显影单元连接，所述三通药液阀通过显影液排放管和DI水排放管分别与显影溶剂收集罐和排废口连接。本发明可以使显影液与DI水分类回收降低成本，有利于厂务处理排出废液，增进环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 分类 回收 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种显影液分类回收处理装置，其特征在于：包括三通药液阀(2)、显影溶剂收集罐(3)、主排废管(6)、显影液排放管(7)及DI水排放管(8)，其中三通药液阀(2)和显影溶剂收集罐(3)设置于显影单元(1)的下方、并三通药液阀(2)通过主排废管(6)与显影单元(1)连接，所述三通药液阀(2)通过显影液排放管(7)和DI水排放管(8)分别与显影溶剂收集罐(3)和排废口连接。
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