[发明专利]一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器

摘要

发明提供一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器，包括波前倾斜校正器、成像透镜、四象限探测器、斜率计算器和自校正处理机，其特征在于：在传统的四象限倾斜跟踪传感器中加入了波前倾斜校正器和自校正处理器，通过自校正回路闭环工作校正四象限倾斜跟踪传感器的装配误差，并保持自校正处理机的输出电压不变，最后在波前倾斜校正器前输入待测波前，通过四象限探测器和斜率计算器测量待测波前的整体斜率。本发明能够校正传统四象限倾斜跟踪传感器的装配误差，为四象限倾斜跟踪传感器高精度测量待测波前整体斜率提供了条件。

主权项

一种能自适应校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器，包括波前倾斜校正器（1）、成像透镜（2）、四象限探测器（3）、斜率计算器（4）和自校正处理机（5），其特征在于：在传统的四象限倾斜跟踪传感器中加入了波前倾斜校正器（1）和自校正处理机（5）；波前倾斜校正器（1）、成像透镜（2）、四象限探测器（3）、斜率计算器（4）和自校正处理机（5）组成自校正回路，能校正装调误差的四象限倾斜跟踪传感器在工作时先后经历如下两个步骤：●校准步骤：首先在波前倾斜校正器（1）前输入标准平面波（6），然后自校正回路闭环工作将标准平面波（6）经过成像透镜（2）后形成的光斑的质心移动到四象限探测器（3）的原点，最后自校正处理机（5）保持输出电压不变从而保持波前倾斜校正器（1）的二维反射角度；●测量步骤：在完成校准步骤后，在波前倾斜校正器（1）前输入待测波前（7），当待测波前（7）的整体的斜率不为0时，待测波前（7）经过成像透镜（2）后形成的光斑会偏离四象限探测器（3）的原点，斜率计算器（4）通过四象限探测器（3）的输出信号计算得到待测波前（7）的整体斜率并输出。