[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201310538289.8 | 申请日: | 2013-11-04 |
公开(公告)号: | CN103811513B | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 权亨峻;吴世忠;V.尤拉齐夫;渡嘉敷健;朴钟撤;白光铉;徐载训;李相旻 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/22 | 分类号: | H01L27/22;H01L43/02;H01L43/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了半导体器件及其制造方法。半导体器件可以包括下部线、交叉下部线的上部线、提供在下部线和上部线之间的交叉点处的选择元件、以及提供在选择元件和上部线之间的存储元件。每个存储元件可以包括下电极和数据存储层,该下电极具有大于底部宽度的顶部宽度,该数据存储层包括层叠在下电极的顶表面上并且具有圆化的边缘的多个磁性层。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括下部线、交叉下部线的上部线、提供在下部线和上部线之间的交叉点处的多个选择元件、以及提供在所述选择元件和所述上部线之间的存储元件,其中每个所述存储元件包括:下电极,具有大于其底部宽度的顶部宽度;和数据存储层,具有圆化的边缘并且包括层叠在所述下电极的顶表面上的多个磁性层,其中所述数据存储层通过以下步骤形成:沉积所述多个磁性层,该沉积形成所述数据存储层而不使用图案化工艺。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的