[发明专利]单晶炉中轴盖有效
| 申请号： | 201310539134.6 | 申请日： | 2013-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN103572376A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陈小林;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 沈履君 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明单晶炉中轴盖，包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。所述接触板与所述内圈同轴设置。本发明单晶炉中轴盖使用中轴盖，在单晶炉热场清扫过程中覆盖在中轴管道之上，防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 中轴 | ||
【主权项】：
单晶炉中轴盖，其特征在于，包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。
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