[发明专利]一种高剩余极化强度和高介电常数BiFe0.96-yMn0.04CryO3 铁电薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201310542467.4 | 申请日: | 2013-11-04 |
公开(公告)号: | CN103601249A | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | 谈国强;刘文龙 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | C01G49/00 | 分类号: | C01G49/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种高剩余极化强度和高介电常数BiFe0.96-yMn0.04CryO3铁电薄膜及其制备方法,将硝酸铋、硝酸铁、乙酸锰和硝酸铬按1.05:(0.96-y):0.04:y的摩尔比混合后溶于混合的乙二醇甲醚中,然后加入醋酸酐,得到金属离子浓度为0.003~0.3mol/L的BiFe0.96-yMn0.04CryO3前驱液;采用旋涂法将BiFe0.96-yMn0.04CryO3前驱液匀胶在表面达到原子清洁度的FTO/glass基片上制备薄膜,然后烘干得干膜,再采用层层退火工艺得到晶态BiFe0.96-yMn0.04CryO3薄膜。该方法设备要求简单,实验条件容易达到,制备的薄膜均匀性较好,掺杂量容易控制,并且能够大幅度提高薄膜的铁电性能和介电性。 | ||
搜索关键词: | 一种 剩余 极化 强度 介电常数 bife sub 0.96 mn 0.04 cr 薄膜 及其 | ||
【主权项】:
一种制备高剩余极化强度和高介电常数BiFe0.96‑yMn0.04CryO3铁电薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将硝酸铋、硝酸铁、乙酸锰和硝酸铬按1.05:(0.96‑y):0.04:y的摩尔比混合后溶于乙二醇甲醚中,然后向其中加入醋酸酐,使硝酸铋、硝酸铁、乙酸锰和硝酸铬溶解,搅拌均匀后得到BiFe0.96‑yMn0.04CryO3前驱液;其中,y=0.00~0.05;BiFe0.96‑yMn0.04CryO3前驱液中金属离子浓度为0.003~0.3mol/L;2)采用旋涂法将BiFe0.96‑yMn0.04CryO3前驱液匀胶在表面达到原子清洁度的FTO/glass基片上制备薄膜,匀胶结束后,在220~260℃烘烤得干膜,再在550℃保温10min进行层层退火处理得到高剩余极化强度和高介电常数BiFe0.96‑yMn0.04CryO3铁电薄膜。
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