[发明专利]对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法

摘要

本发明公开了对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法，其包括：在氯硅烷精馏提纯工序的精馏塔系统中，将塔顶低沸物杂质含量最高的精馏塔内的高杂质废气排出，并将塔釜高沸物杂质含量最高的精馏塔内的高杂质废液排出；收集未排出高杂质废气的精馏塔内的含氯硅烷废气，并输送至填料式氯硅烷冷凝储存设备；将未排出高杂质废液的精馏塔内的含氯硅烷废液收集至氯硅烷回收罐；将冷凝液输送至该氯硅烷回收罐；将该氯硅烷回收罐中的混合液体泵送至吸附床，获得氯硅烷液体。该方法能够在保障电子级多晶硅生产系统稳定运行的同时，最大限度的回收与利用氯硅烷精馏系统废气废液中的氯硅烷，氯硅烷回收率可达95%以上，且节能降耗、科学环保。

主权项

一种对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法，其特征在于，包括：在所述氯硅烷精馏提纯工序的精馏塔系统中，将塔顶低沸物杂质含量最高的一个精馏塔内的高杂质废气于塔顶排出，并将塔釜高沸物杂质含量最高的一个精馏塔内的高杂质废液于塔底排出；收集未排出高杂质废气的精馏塔内的含氯硅烷废气，并输送至填料式氯硅烷冷凝储存设备，以便对所述含氯硅烷废气进行冷凝处理，获得不凝性气体和冷凝液；将未排出高杂质废液的精馏塔内的含氯硅烷废液收集至氯硅烷回收罐；将所述冷凝液输送至所述氯硅烷回收罐；以及将所述氯硅烷回收罐中的混合液体泵送至吸附床，以便对所述混合液体进行除杂处理，获得经过除杂的氯硅烷，其中，所述填料式氯硅烷冷凝储存设备包括：冷凝器，所述冷凝器的上部具有冷媒入口且下部具有冷媒出口，顶部具有不凝性气体出口；储存罐，所述储存罐设在所述冷凝器下方且与所述冷凝器连通，所述储存罐的中部具有用于通入所述含氯硅烷废气的热媒入口，底部具有冷凝液出口，所述储存罐的下部具有氮气接口，所述氮气接口位于所述冷凝液出口上方；以及填料式塔板，所述填料式塔板设在所述储存罐内且位于所述热媒入口的上方。