[发明专利]切片机的碎片收集装置无效
申请号: | 201310543000.1 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN103552164A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 刘耀峰;潘振东 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种切片机的碎片收集装置,包括碎片盒和线网,该碎片盒与该线网之间的距离为10mm~25mm。改善现有碎片盒与线网的距离,减少了2cm,使大部分碎硅片都掉落到碎片盒内,减少TTV>50的比例。更换深槽前TTV>50占3.5%,更换深槽后TTV>50占1.08%,有效减少2.42%。 | ||
搜索关键词: | 切片机 碎片 收集 装置 | ||
【主权项】:
一种切片机的碎片收集装置,包括碎片盒和线网,其特征在于:该碎片盒与该线网之间的距离为10mm~25mm。
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