[发明专利]基板搬送设备

摘要

基板搬送设备具备顶部搬送车，其沿行驶轨道行驶移动而将容器搬送至容器搬送部位；基板搬送装置，其从位于基板取出部位的容器取出基板并将其搬送至基板处理装置；以及中转搬送装置，其使载置容器的载置部沿水平方向移动而在容器搬送部位与基板取出部位之间搬送容器。将基板搬送装置构成为从在载置于载置部的状态下位于基板取出部位的容器取出基板，并将该基板自如地搬送至基板处理装置。

主权项

一种基板搬送设备，具备以下：顶部搬送车，其在被配设于顶部的行驶轨道引导支撑的状态下沿所述行驶轨道行驶移动，将容纳有多块基板的容器搬送至容器搬送部位；具有以下特征：中转搬送装置，在所述容器搬送部位与基板取出部位之间自如地搬送所述容器；基板搬送装置，从位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，将取出的所述基板搬送至对所述基板进行处理的基板处理装置，在此，所述中转搬送装置构成为：具备载置所述容器的载置部，使所述载置部沿水平方向移动而在所述容器搬送部位与所述基板取出部位之间自如地搬送所述容器，所述基板搬送装置构成为：从在载置于所述载置部的状态下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，将该基板自如地搬送至所述基板处理装置，作为所述容器搬送部位，设定有低位置容器搬送部位和被设定于比该低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位；作为所述基板取出部位，设定有低位置基板取出部位和被设定于比该低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位；作为所述中转搬送装置，设有在所述低位置容器搬送部位与所述低位置基板取出部位之间搬送所述容器的低位置搬送装置、以及在所述高位置容器搬送部位与所述高位置基板取出部位之间搬送所述容器的高位置搬送装置，所述高位置搬送装置所具备的高位置用所述载置部被设置在比所述低位置搬送装置所具备的低位置用所述载置部中的载置所述容器的载置面的高度更高且比载置于所述低位置用载置部的所述容器的上端更低的高度；所述低位置用载置部以如下状态设置：该低位置用载置部的移动轨迹与载置于所述高位置用载置部的所述容器的移动轨迹从上下方向看，具有重复的部分和不重复的部分，所述高位置用载置部以如下状态设置：该高位置用载置部的移动轨迹与载置于所述低位置用载置部的所述容器的移动轨迹从上下方向看，具有重复的部分和不重复的部分。