[发明专利]一种电池用复合中间反射层以及多结多叠层硅基薄膜电池

摘要

本发明公开了一种电池用复合中间反射层及一种多结多叠层硅基薄膜电池。该复合中间反射层包括至少一层中间反射层，每层中间反射层的前一层和后一层均为不含氧或氮的n型掺杂层；所述中间反射层为n型掺杂的SiOx或SiNx。该复合中间反射层通过氧化或氮化比例可以灵活调整折射率以适应多结多叠层的薄膜太阳能电池中不同膜层对不同波段的选择性反射需求。所需材料均为硅基薄膜主流材料，所用制备工艺均与大规模产业化制造的工艺兼容；采用这种复合中间反射层的多结多叠层薄膜电池相比不采用中间反射层的结构，电池效率将能提高10%以上。

主权项

一种电池用复合中间反射层，其特征是，该复合中间反射层是包括至少一层中间反射层的多层膜结构，与每层中间反射层相邻的前一层和后一层均为不含氧或氮的n型掺杂层；所述中间反射层为掺杂的n型SiOx或SiNx膜层；所述n型掺杂层为n型掺杂的μc‑Si1‑xGex、n型掺杂的μc‑Si、n型掺杂的A‑Si1‑xGex、n型掺杂的A‑Si，n型掺杂的μc‑SiC、n型掺杂的A‑SiC半导体材料层中的一种或多种，其中0≤x≤1。