[发明专利]光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构有效
| 申请号： | 201310544975.6 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103728842A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 薛佩佩;陈明;杨宝喜;任冰强;钱珍梅;王振;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明调整支撑机构可以实现照明镜组单元的安装调整和支撑固定，对照明镜组单元进行X、Y、Z方向及绕其旋转的六个自由度方向进行调整，安装调整固定方便，具有较高的定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 照明 系统 明镜 单元 调整 支撑 机构 | ||
【主权项】：
一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，特征在于其构成包括固定在一块底板（1）上的前端支撑装置（3）、第一后端支撑装置（4）、第二后端支撑装置（5）、连接第一后端支撑装置（4）和第二后端支撑装置（5）的后端支撑（6），所述前端支撑装置（3）、后端支撑（6）和光刻机照明系统的照明镜组单元（7）固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310544975.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
