[发明专利]一种侧部加热器可移动的铸锭炉及铸锭生产工艺有效
| 申请号： | 201310547113.9 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103572365B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王峰;李鹏廷;谭毅;任世强;熊华江;安广野;姜大川 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧部加热器可移动的铸锭炉及铸锭生产工艺。其装置包括炉体，炉体内有石英坩埚，石英坩埚的外壁由内向外依次环绕有侧部加热器和保温碳毡，石英坩埚上方固定安装有顶部加热器，石英坩埚下方安装有热交换块，侧部加热器沿环绕方向上等距安装有导热杆，导热杆的另一端与炉体外顶部的电极棒固定相连。其工艺包括装料抽真空，加氩气升压，加热使硅料熔化，晶体长晶，退火保温及冷却降温，加热阶段和硅料熔化阶段，侧部加热器在石英坩埚的竖直方向上做往复运动；长晶过程中，侧部加热器保持在石英坩埚中部；退火保温阶段，侧部加热器保持在石英坩埚下部。本发明能够使铸锭生产成本降低5%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 移动 铸锭 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种采用侧部加热器可移动的铸锭炉的铸锭生产工艺，所述铸锭炉包括炉体，炉体内有石英坩埚，石英坩埚的外壁由内向外依次环绕有侧部加热器和保温碳毡，石英坩埚上方固定安装有顶部加热器，石英坩埚下方安装有热交换块，侧部加热器沿环绕方向上等距安装有导热杆，导热杆的另一端与炉体外顶部的电极棒固定相连，导热杆有3～9根，其特征在于：所述工艺包括装料抽真空，加氩气升压，加热使硅料熔化，晶体长晶，退火保温及冷却降温，其特征在于加热阶段和硅料熔化阶段，侧部加热器在石英坩埚的竖直方向上做往复运动；长晶过程中，侧部加热器保持在石英坩埚中部；退火保温阶段，侧部加热器保持在石英坩埚下部。
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