[发明专利]太阳能硅片制程花篮在审
| 申请号： | 201310550082.2 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103545233A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 卢韦至 | 申请（专利权）人： | 中电电气（扬州）光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 | 代理人： | 王玉霞 |
| 地址： | 211400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能硅片制程花篮，属于太阳能电池制备工具技术领域。太阳能硅片制程花篮，花篮上设有卡槽，卡槽的形状为弧形，硅片与花篮卡槽之间为点接触。进一步地，所述花篮横轴卡槽数量为1-300。进一步地，所述卡槽与硅片侧边接触点的个数为1-45。本发明藉由弧形的卡槽设计来回避硅片吸附卡槽边缘的问题，如此在卡槽内的硅片即使稍微移动，也可确保不会吸附在卡槽边缘造成卡槽痕。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 硅片 花篮 | ||
【主权项】：
太阳能硅片制程花篮，花篮上设有卡槽，其特征是，所述卡槽的形状为弧形，硅片与花篮卡槽之间为点接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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