[发明专利]一种喷胶单元吸盘的清洗装置及其清洗方法在审
| 申请号： | 201310553986.0 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN104624444A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李晓明 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体制程中喷胶工艺技术领域，具体地说是一种喷胶单元吸盘的清洗装置及其清洗方法。所述装置包括旋转外环和隔环，其中旋转外环设置于吸盘的外侧边缘上，所述隔环设置于吸盘和旋转外环之间、并位于吸附于吸盘上的晶片的下方。所述方法是喷胶单元工作时，光刻胶将于晶片边缘流入隔环与旋转外环之间的区域，清洗时，将隔环和旋转外环取下清洗。本发明成本很低，在设备外清洗，不影响设备的正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单元 吸盘 清洗 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种喷胶单元吸盘的清洗装置，其特征在于：包括旋转外环(3)和隔环(4)，其中旋转外环(3)设置于吸盘(2)的外侧边缘上，所述隔环(4)设置于吸盘(2)和旋转外环(3)之间、并位于吸附于吸盘(2)上的晶片(1)的下方。
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