[发明专利]漏液侦测装置有效
| 申请号： | 201310554330.0 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103644458A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 任存生;苏亚青;金见安;张旭升;张传民;文静;李阳柏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种漏液侦测装置，应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测，包括：一中转箱，所述中转箱套设于所述管道外，且所述中转箱的底部设有开孔；设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管，所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口；以及，设置于所述套管外部的传感器。本发明采用在中转箱底部的管路中设置一具导气功能的支管，从而有效避免了漏液进入管路时形成的气封现象，漏液侦测准确度高，且工艺简单方便，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 侦测 装置 | ||
【主权项】：
一种漏液侦测装置，应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测，其特征在于，包括：一中转箱，所述中转箱套设于所述管道外，且所述中转箱的底部设有开孔；设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管，所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口；以及，设置于所述套管外部的传感器。
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