[发明专利]一种炉管设备的组批派工系统和方法

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种炉管设备的组批派工系统，包括设置装置，采集装置，分配装置，计算装置以及排序装置。本发明还公开了一种炉管设备的组批派工方法。本发明具有如下优点或者有益效果采用本发明的方法和系统，通过计算等待作业的所有组批制品的组批分数，并对组批分数进行排序，由排序结果决定炉管设备的派工；避免了操作人员在制品列表中寻找、判断制品时带来的疏失，兼顾生产效率和不同优先级等级制品的成产周期，无需大量的循环运算和逻辑判断，提高了炉管设备的生产效率。

主权项

一种炉管设备的组批派工方法，其特征在于，采用如下步骤：步骤S1，设置权重分配规则；步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；步骤S3，根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；步骤S4，根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；步骤S5，对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工；在所述步骤S1中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则；在所述步骤S4中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；所述组批分数的计算方法为：组批分数＝(Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重)/程序系数。