[发明专利]一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺有效
| 申请号： | 201310555329.X | 申请日： | 2013-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN103553058A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 江庆云 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 830011 新疆维吾*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明涉及精馏提纯领域，目前多晶硅生产中采用常规多级精馏技术提纯三氯氢硅，精馏级数多，且回流比大，对能量消耗大，设备投资高，为了克服这些问题，本发明技术方案采取树脂吸附与多级精馏联合的新工艺，将粗三氯氢硅液预冷降温，用泵打入装有二乙烯苯特种树脂的吸附装置除硼、磷杂质，再将吸附过的三氯氢硅液进行三级精馏塔精馏，得到高纯的三氯氢硅，本发明不仅达到了发明目的，而且还具有三氯氢硅纯度高，精馏分离物杂质含量较低，能够回收作为歧化反应使用，进一步降低了能耗，提高了物料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 精制 三氯氢硅 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺，其特征为树脂吸附与精馏的联合精制工艺，首先将粗三氯氢硅液预冷降温，用泵打入二乙烯苯树脂吸附装置除硼、磷杂质，再将经二乙烯苯树脂吸附过的三氯氢硅液进行三级精馏塔精馏，得到高纯的三氯氢硅。
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