[发明专利]一种钕铁硼永磁材料表面防护层及其制备方法有效
申请号: | 201310556568.7 | 申请日: | 2013-11-11 |
公开(公告)号: | CN103572217A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 林松盛;胡芳;许伟;代明江;候惠君;韦春贝;石倩 | 申请(专利权)人: | 广州有色金属研究院 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/16;C23C14/02;H01F1/057;H01F41/02 |
代理公司: | 广东世纪专利事务所 44216 | 代理人: | 千知化 |
地址: | 510651 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种钕铁硼永磁材料表面防护层及其制备方法。其特征在于所述表面防护层依次由钕铁硼基材1;铝过渡层2和蒸发镀铝层3构成。所述的表面防护层的制备方法,其特征在于依次由下列步骤组成:1)对钕铁硼永磁材料镀前除油、除锈处理;2)工件装进真空室并抽真空后,辉光放电离子清洗;3)磁控溅射铝靶或阴极电弧铝靶沉积铝过渡层;4)高偏压离子轰击;5)蒸发镀铝层。本发明提供一种环保、防止腐蚀液残留的钕铁硼永磁材料表面防护层及其膜/基结合力好、膜层致密、耐腐蚀性能优异的钕铁硼永磁材料表面防护层的制备方法。本发明方法解决了一般气相沉积法存在的生产效率与耐腐蚀性能相矛盾的技术瓶颈,适用于快速的大规模工业生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 钕铁硼 永磁 材料 表面 防护 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种钕铁硼永磁材料表面防护层,其特征在于所述表面防护层依次由钕铁硼基材1;铝过渡层2和蒸发镀铝层3构成。
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