[发明专利]一种减速电极驱动装置有效
| 申请号： | 201310557472.2 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103794455A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 马国宇;李晨冉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减速电极驱动装置，包括：X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)、真空模块(3)、真空电极引线模块(4)、冷却模块(5)，其中X轴驱动机构(1)驱动减速电极竖直方向运动；Z轴驱动机构(2)驱动减速电极水平方向运动；真空模块(3)负责减速电极驱动装置与减速电极组件的真空和大气之间隔离，该模块具有较好的运动密封性；真空电极引线模块(4)负责真空环境下的减速电极与外界大气环境下的电极供电线路连接；冷却模块(5)负责冷却减速电极驱动装置，降低减速电极高温向减速电极驱动装置的传热，防止密封圈因高温失效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减速 电极 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种减速电极驱动装置，包括：X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)、真空模块(3)、真空电极引线模块(4)、冷却模块(5)，其特征在于：两驱动机构集成在同一滑动板上，结构紧凑，传动效率高。
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