[发明专利]镀膜玻璃用硅靶水冷却系统无效
| 申请号： | 201310558476.2 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN103601372A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛;苗建 |
| 地址： | 214253 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜玻璃用硅靶水冷却系统，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中设有水冷隔离板（2），水冷隔离板（2）的上方形成冷却水槽，水冷隔离板（2）的下方设有磁铁（3），在所述冷却水槽的上方设有铜背板（4），铜板板（3）的上方设有硅靶（5）。本发明结构简单实用，设计合理，改进后的水冷系统将冷却水与磁铁隔离，能有效提高产品的稳定性，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 玻璃 用硅靶 水冷 系统 | ||
【主权项】：
一种镀膜玻璃用硅靶水冷却系统，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中设有水冷隔离板（2），水冷隔离板（2）的上方形成冷却水槽，水冷隔离板（2）的下方设有磁铁（3），在所述冷却水槽的上方设有铜背板（4），铜板板（3）的上方设有硅靶（5）。
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