[发明专利]一种光刻胶剥离液有效
| 申请号： | 201310561003.8 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN104635438B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;何春阳;孙广胜;黄达辉 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及一种光刻胶剥离液，包含季胺氢氧化物，环氧类有机溶剂，以及除所述环氧类有机溶剂以外的其它溶剂，该所述环氧类有机溶剂是指含有结构式I的环氧有机溶剂： |
||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 剥离 | ||
【主权项】：
一种光刻胶剥离液，包含季胺氢氧化物，环氧类有机溶剂，以及除所述环氧类有机溶剂以外的其它溶剂，且其中所述环氧类有机溶剂是指含有结构式I的环氧有机溶剂：![]()
结构式I。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安集微电子科技（上海）股份有限公司，未经安集微电子科技（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310561003.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带电装置、图像形成单元和图像形成装置
- 下一篇：一种增强型微图案放大显示结构
