[发明专利]一种油溶性氧化铟氧化锡纳米微粒及气敏薄膜的制备方法

摘要

一种油溶性氧化铟氧化锡纳米微粒及气敏薄膜的制备方法，属于半导体材料领域。其特征是利用金属有机前驱体分解法制备氧化铟氧化锡及锡掺杂氧化铟纳米微粒并用甩膜法制备薄膜，所用金属有机前驱体为相应金属的乙酰丙酮化合物。该制备方法的原料易得、操作简单，有利于产品的大规模工业化生产。所制备的氧化铟氧化锡半导体纳米薄膜具有结构均一性和性能稳定性，发光性能良好，用该薄膜制备的原型器件具有很好的气敏特性。

主权项

一种油溶性氧化铟氧化锡纳米微粒及气敏薄膜的制备方法，其特征在于,所述方法包括如下步骤： A.金属有机前驱体的分解：将金属有机前驱体以一定比例加入到油胺溶液中，使溶液中金属有机前驱体浓度在0.05‑0.5mol/L范围内，在氮气气氛下不断搅拌反应4‑8小时，即得到氧化物纳米微粒； B.产物的分离与提纯：向上述A步骤所得的氧化物纳米微粒中加入二氯甲烷，使氧化物纳米微粒溶于二氯甲烷中，离心分离，保留上清液；向所得到的上清液中加入无水乙醇，使氧化物纳米微粒沉淀，离心分离，再加入无水乙醇清洗，重复操作三次；将洗涤后的沉淀物分成两份，其中一份加入二氯甲烷，即得油溶性氧化物纳米微粒溶液；将另一份沉淀物真空干燥，即得到氧化物纳米微粒粉末； C.纳米薄膜的制备：取一定量的上述B步骤所得的油溶性氧化物纳米微粒溶液，滴加到基片上，用匀胶机进行甩膜或打印成膜；将该膜进行退火处理，即得到均匀平整的纳米薄膜。