[发明专利]基板输送用机械手以及基板输送方法

摘要

本发明涉及基板输送用机械手以及基板输送方法。该基板输送用机械手包括：平行配置的第1对基板支承构件；驱动部，使第1对基板支承构件向相互接近的方向和相互远离的方向平行移动；在与第1对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置的第2对基板支承构件；平行连杆构件，连结第1对基板支承构件与第2对基板支承构件，并与第1对基板支承构件的接近/远离的方向的平行移动联动使第2对基板支承构件向接近/远离的方向平行移动；第1保持部，沿第1对基板支承构件的纵长方向设置多个，保持基板的下表面的缘部；和第2保持部，沿第2对基板支承构件的纵长方向设置多个，保持基板的下表面的缘部。

主权项

一种基板输送用机械手，其中，该基板输送用机械手包括：第1对基板支承构件，它们平行配置；驱动部，其用于使上述第1对基板支承构件向相互接近的方向以及相互远离的方向平行移动；第2对基板支承构件，它们在与上述第1对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置；平行连杆构件，其用于将上述第1对基板支承构件与上述第2对基板支承构件连结起来，并且该平行连杆构件与上述第1对基板支承构件在上述相互接近的方向上的平行移动联动而使上述第2对基板支承构件向相互接近的方向平行移动，且该平行连杆构件与上述第1对基板支承构件在上述相互远离的方向上的平行移动联动而使上述第2对基板支承构件向相互远离的方向平行移动；第1保持部，其沿着上述第1对基板支承构件的纵长方向设置多个，并用于保持基板的下表面的缘部；以及第2保持部，其沿着上述第2对基板支承构件的纵长方向设置多个，并用于保持基板的下表面的缘部。