[发明专利]形状测量机和用于校正形状测量误差的方法

摘要

一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持包含尖端球体的扫描探测器的滑块。标尺单元检测滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据滑块和尖端球体的位移来计算测量值。校正滤波器输出校正值，其中该校正值是通过基于从标尺单元到尖端球体的频率传递特性的逆特性来校正尖端球体位移检测单元所检测到的尖端球体的位移而获得的。加法器通过将标尺单元所检测到的滑块的位移和校正值相加来计算测量值。

主权项

一种形状测量机，包括：扫描探测器，用于通过使用安装至所述扫描探测器的一端的触针的尖端处所配置的尖端球体来进行扫描测量，其中所述尖端球体被配置成能够与被测体接触；滑块，其以能够移动的方式进行配置，并且用于在所述扫描探测器的与所述尖端球体相对的另一端处支持所述扫描探测器；标尺单元，用于检测所述滑块的位移；尖端球体位移检测单元，用于检测所述扫描探测器的所述尖端球体相对于所述扫描探测器和所述滑块之间的连接部的位移；以及计算单元，用于根据所述标尺单元所检测到的所述滑块的位移和所述尖端球体位移检测单元所检测到的所述尖端球体的位移，来计算测量值，其中，所述计算单元包括：校正滤波器，用于输出校正值，其中所述校正值是通过基于从所述标尺单元到所述尖端球体的频率传递特性的逆特性的估计值来校正所述尖端球体位移检测单元所检测到的所述尖端球体的位移而获得的；以及加法器，用于通过将所述标尺单元所检测到的所述滑块的位移和所述校正值相加来计算所述测量值，其中，所述校正滤波器包括：第一滤波器，用于基于从所述标尺单元到所述扫描探测器和所述滑块之间的连接部的频率传递特性的逆特性的估计值，来校正所述尖端球体位移检测单元所检测到的所述尖端球体的位移；第二滤波器，用于基于从所述扫描探测器和所述滑块之间的连接部到所述扫描探测器的触针安装部的频率传递特性的逆特性的估计值，来校正所述第一滤波器校正后的值；以及第三滤波器，用于将通过基于从所述扫描探测器的所述触针安装部到所述尖端球体的频率传递特性的逆特性的估计值来校正所述第二滤波器校正后的值而获得的值输出作为所述校正值。