[发明专利]一种多波长特征X射线衍射测量装置和方法

摘要

本发明涉及一种能够在宽的波长范围内选择X射线管阳极靶材的某一特征X射线，测量被测晶体材料样品X射线衍射谱的多波长特征X射线衍射测量装置和方法。其装置包括X射线管、高压发生器、狭缝、测角仪、探测器、多道分析器等。本发明免除了滤波片或晶体单色器等的使用而导致特征X射线强度的大幅度衰减，通过调节X射线管的管电压和多道分析器的上、下阈，就能够选取测量所需波长的特征X射线，就能够在同一套装置上，既可以无损地测量样品表面的(波长较长的特征X射线)衍射线又可以无损地测量样品内部的(波长较短的特征X射线)衍射线，而且，本发明所述具有操作简便，检测时间较短，扫描测得的特征X射线衍射谱真实、可靠。

主权项

一种多波长特征X射线衍射测量装置，包括X射线管(1)、高压发生器(2)、入射狭缝(3)、样品台(4)、接收狭缝(5)、测角仪(6)、探测器(7)、多道分析器(8)、运动控制器(9)、计算机(10)、电源(11)等，其特征在于：所述X射线管(1)的阳极靶由Cu、Mo、Ag、W、Au、Pt等原子序数Z＞10的金属或合金制成；且高压发生器(10)输出到X射线管(1)的管电压大于阳极靶的金属或合金的K系特征X射线激发电压的3倍；所述探测器(7)探测衍射的X射线经所述的多道分析器(8)完成特征X射线单色化和获得该衍射角2θ的能量色散衍射谱，并将记录的衍射的特征X射线光子数量和该2θ角的能量色散衍射谱输出到计算机(9)，2θ定时扫描测量，即可测得位于样品台(4)上被测样品被测部位的靶材某一特征X射线的衍射谱，以及各2θ角的能量色散衍射谱。