[发明专利]一种高功率激光光斑控制系统在审
申请号: | 201310567375.1 | 申请日: | 2013-11-12 |
公开(公告)号: | CN104625398A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 麻树波 | 申请(专利权)人: | 西安中科麦特电子技术设备有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/073 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 谭文琰 |
地址: | 710119 陕西省西安市高新区新*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种高功率激光光斑控制系统,包括高功率脉冲激光器和低功率激光器,高功率脉冲激光器输出光路的中心线上依次设置有变形镜一、准直器一、分束镜一和光学共聚焦系统,连续激光器输出光路的中心线上依次设置有变形镜二、准直器二、分束镜二、光学共聚焦系统和CCD,光学共聚焦系统的聚焦光路上设置物镜和Z轴微移台,分束镜的反射光路上设置光强传感器;两个光强传感器和CCD均与FPGA模块的输入端相接,FPGA模块的输出端接有驱动Z轴电机的Z轴驱动器,Z轴电机与Z轴微移台相接,FPGA模块的输出端还与脉冲激光器和连续激光器相接。本发明设计合理,结构简单,控制精确,实现方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 激光 光斑 控制系统 | ||
【主权项】:
一种高功率激光光斑控制系统,其特征在于:包括高功率脉冲激光器(1)和低功率激光器(2),所述高功率脉冲激光器(1)输出光路的中心线上依次设置有变形镜一(3)、准直器一(5)、分束镜一(7)和光学共聚焦系统(9),所述连续激光器(2)输出光路的中心线上依次设置有变形镜二(4)、准直器二(6)、分束镜二(8)、光学共聚焦系统(9)和CCD(10),所述光学共聚焦系统(9)的聚焦光路上设置具有色差补偿功能的物镜(17)和Z轴微移台(14),所述分束镜一(7)的反射光路上设置光强传感器一(15),所述分束镜二(8)的反射光路上设置光强传感器二(16);所述光强传感器一(15)、光强传感器二(16)和CCD(10)均与FPGA模块(11)的输入端相接,所述FPGA模块(11)的输出端接有用于控制所述Z轴微移台(14)的Z轴电机(13),所述FPGA模块(11)和Z轴电机(13)之间接有Z轴驱动器(12),所述FPGA模块(11)的输出端还与脉冲激光器(1)和连续激光器(2)相接。
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