[发明专利]一种脆性薄片的转移装置

摘要

本发明涉及一种脆性薄片的转移装置，属于精密及超精密加工技术领域。包括拉绳、支架和多个运动机构，多个运动机构固定在支架的底座上。运动机构中的导轨通过螺栓与支架底座相对固定，拉绳从支架顶部穿过支架中孔后经滑块上的导线孔固定在滑块上，弹簧置于支架底座与滑块之间，吸附转移面通过胶黏剂固定在滑块的底部其有柱状凸起。本转移装置依靠改变脆性薄片和吸附转移面之间的范德华力作用来实现对脆性薄片的吸附和脱附，减少了对脆性薄片的污染，保证了生产过程的可靠性，而且结构简单，操作方便，适合用于脆性薄片的加工流水线作业。

主权项

一种脆性薄片的转移装置，其特征在于该转移装置包括拉绳、支架和多个运动机构；所述的支架上开有中孔，所述多个运动机构固定在支架的底座上；所述的运动机构由滑块、弹簧、导轨和吸附转移面组成；所述的导轨为L形，导轨通过螺栓与支架底座相对固定，所述的滑块安装在L形导轨的末端，滑块上开有导线孔，所述的拉绳从支架顶部穿过支架中孔后经滑块上的导线孔固定在滑块上；所述的弹簧置于支架底座与滑块之间；所述的吸附转移面通过胶黏剂固定在滑块的底部，所述的吸附转移面上有柱状凸起，柱状凸起的根部截面积大于柱状凸起的端部截面积。