[发明专利]基板清洗装置及基板清洗方法

摘要

一种基板清洗装置，具有纯水供给管线(50)，其夹装有纯水流量调整器(56a)和纯水供给阀(58a)；多个药液供给管线(52，54)，其分别夹装有药液流量调整器(56b，56c)和药液供给阀(58b，58c)；合流管线(66)，其使纯水和多种药液合流而形成清洗液；清洗液供给管线(42，44，68)，其将清洗液供给于基板；以及控制部(30)，其分别对流量调整器(56a，56b，56c)与供给阀(58a，58b，58c)进行控制，以在纯水与多种药液合流的合流点使纯水与多种药液的比例为规定的比例。采用本发明，可将纯水及多种药液为一定比例且均匀混合的清洗液从开始清洗的时刻持续供给于基板而对基板进行清洗。

主权项

一种基板清洗装置，将多种药液用纯水稀释后的清洗液供给于基板而对基板进行清洗，该基板清洗装置的特征在于，具有：纯水供给管线，该纯水供给管线夹装有纯水流量调整器和纯水供给阀；第1药液供给管线，该第1药液供给管线夹装有第1药液流量调整器和第1药液供给阀；第2药液供给管线，该第2药液供给管线夹装有第2药液流量调整器和第2药液供给阀；合流管线，该合流管线使分别在所述纯水供给管线内流动的纯水、在所述第1药液供给管线内流动的第1药液以及在所述第2药液供给管线内流动的第2药液合流而形成清洗液；清洗液供给管线，该清洗液供给管线将所述清洗液供给于基板；以及控制部，该控制部构造成：(i)打开所述纯水供给阀并控制所述纯水流量调整器；(ii)当从打开所述纯水供给阀的时刻经过第1打开延迟时间后，打开所述第1药液供给阀并控制所述第1药液流量调整器；(iii)当从打开所述纯水供给阀的时刻经过第2打开延迟时间后，打开所述第2药液供给阀并控制所述第2药液流量调整器，其中，所述第2打开延迟时间长于所述第1打开延迟时间。