[发明专利]用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶硅锭的铸锭方法有效
申请号: | 201310574484.6 | 申请日: | 2013-11-15 |
公开(公告)号: | CN103590097A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 潘家明;何广川;陈艳涛 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶的铸锭方法。其中,该铸锭炉包括:侧部隔热层;底部隔热层,与侧部隔热层共同围成一个腔体;坩埚,设置在腔体内;侧部加热器,设置在侧部隔热层与坩埚之间,顶部测温点,设置在侧部隔热层与坩埚之间,且位于侧部加热器的上方;底部隔热层为一层,在侧部隔热层中部,朝向坩埚设置有一圈中部隔热层。应用本发明的技术方案,通过调整铸锭炉内部热场结构,去掉一层底部隔热层,在侧部隔热层内壁添加一圈保温隔热石墨硬毡,将铸锭炉内部热场分为顶部高温区和底部低温区,从而保证籽晶在坩埚内不完全熔化,硅液在结晶段沿籽晶内的原子排列方向进行结晶生长,铸锭类单晶硅锭,便于类单晶批量推广。 | ||
搜索关键词: | 用于 生产 单晶硅 铸锭 方法 | ||
【主权项】:
一种用于生产类单晶硅锭的铸锭炉,包括:侧部隔热层(80);底部隔热层(60),与所述侧部隔热层(80)共同围成一个腔体;坩埚(50),设置在所述腔体内;侧部加热器(70),设置在所述侧部隔热层(80)与所述坩埚(50)之间,顶部测温点,设置在所述侧部隔热层(80)与所述坩埚(50)之间,且位于所述侧部加热器(70)的上方;其特征在于,所述底部隔热层(60)为一层,在所述侧部隔热层(80)中部,朝向所述坩埚(50)设置有一圈中部隔热层(90)。
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