[发明专利]用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶硅锭的铸锭方法有效

专利信息
申请号: 201310574484.6 申请日: 2013-11-15
公开(公告)号: CN103590097A 公开(公告)日: 2014-02-19
发明(设计)人: 潘家明;何广川;陈艳涛 申请(专利权)人: 英利集团有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/06
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明;张永明
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶的铸锭方法。其中,该铸锭炉包括:侧部隔热层;底部隔热层,与侧部隔热层共同围成一个腔体;坩埚,设置在腔体内;侧部加热器,设置在侧部隔热层与坩埚之间,顶部测温点,设置在侧部隔热层与坩埚之间,且位于侧部加热器的上方;底部隔热层为一层,在侧部隔热层中部,朝向坩埚设置有一圈中部隔热层。应用本发明的技术方案,通过调整铸锭炉内部热场结构,去掉一层底部隔热层,在侧部隔热层内壁添加一圈保温隔热石墨硬毡,将铸锭炉内部热场分为顶部高温区和底部低温区,从而保证籽晶在坩埚内不完全熔化,硅液在结晶段沿籽晶内的原子排列方向进行结晶生长,铸锭类单晶硅锭,便于类单晶批量推广。
搜索关键词: 用于 生产 单晶硅 铸锭 方法
【主权项】:
一种用于生产类单晶硅锭的铸锭炉,包括:侧部隔热层(80);底部隔热层(60),与所述侧部隔热层(80)共同围成一个腔体;坩埚(50),设置在所述腔体内;侧部加热器(70),设置在所述侧部隔热层(80)与所述坩埚(50)之间,顶部测温点,设置在所述侧部隔热层(80)与所述坩埚(50)之间,且位于所述侧部加热器(70)的上方;其特征在于,所述底部隔热层(60)为一层,在所述侧部隔热层(80)中部,朝向所述坩埚(50)设置有一圈中部隔热层(90)。
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