[发明专利]一种支持同时加工多片物料的路由控制方法和装置在审
| 申请号： | 201310578182.6 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104656571A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 崔琳 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种支持同时加工多片物料的路由控制方法，所述路由控制方法，包括以下步骤：将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；按照预设规则针对待加工的物料进行标记；当当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则允许所述物料从所述源位置离开；当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块。本发明使得生产线设备高效率自动化的传片，提高了生产线设备的产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支持 同时 加工 物料 路由 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种支持同时加工多片物料的路由控制方法，其特征在于，所述路由控制方法，包括以下步骤：将支持同时加工多片物料的工艺腔室标记为批处理模块；按照预设规则针对待加工的物料进行标记；其中，所述预设规则包括组号标定规则和优先级标定规则；所述批处理模块具有容量，所述组号标定规则为依据所述批处理模块的容量将待加工的物料划分为一个或多个分组，同一分组的物料具有相同的组标识；所述优先级标定规则为同一分组内的物料按照优先级进行排序；所述物料具有源位置和目标位置；当当前物料的源位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有优先级最低的物料；若否，则允许所述物料从所述源位置离开；当当前物料的目标位置为批处理模块时，判断所述批处理模块中是否具有物料；若是，则当所述物料的组标识与所述批处理模块中物料的组标识相同时允许所述物料传输至所述批处理模块；否则，允许所述物料传输至所述批处理模块。
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