[发明专利]一种压电式微加速度传感器

摘要

本发明提供了一种压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的环状结构，共包含八个上电极、八个下电极、八个压电层、支撑膜、质量块。所述的八个下电极置于支撑膜之上，八个压电层置于下电极之上，八个上电极置于压电层之上。质量块悬置于下电极之下并与支撑膜固定连接，质量块悬置于支撑膜之下，构成敏感芯片的可动部分。电极、压电层分别构成的圆环均与质量块同圆心。所述的敏感芯片与上、下玻璃板分别通过键合连接。本发明的压电式微加速度传感器的固有频率为14.8KHz以上，灵敏度为0.62pC/g。

主权项

一种压电式微加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片（27）、上玻璃板（29）、下玻璃板（28）；其中，敏感芯片（27）含有第一上电极（1）、第二上电极（2）、第三上电极（3）、第四上电极（4）、第五上电极（5）、第六上电极（6）、第七上电极（7）、第八上电极（8）、第一压电层（9）、第二压电层（10）、第三压电层（11）、第四压电层（12）、第五压电层（13）、第六压电层（14）、第七压电层（15）、第八压电层（16）、第一下电极（17）、第二下电极（18）、第三下电极（19）、第四下电极（20）、第五下电极（21）、第六下电极（22）、第七下电极（23）、第八下电极（24）、支撑膜（25）、外框（30）、圆柱状的质量块（26）；其连接关系是，所述的第一压电层（9）、第三压电层（11）、第五压电层（13）、第七压电层（15）与第二压电层（10）、第四压电层（12）、第六压电层（14）、第八压电层（16）分别构成内外两个圆环；第一上电极（1）、第三上电极（3）、第五上电极（5）、第七上电极（7）与第二上电极（2）、第四上电极（4）、第六上电极（6）、第八上电极（8）分别构成内外两个圆环；第二下电极（18）、第三下电极（19）、第六下电极（22）、第七下电极（23）与第一下电极（17）、第四下电极（20）、第五下电极（21）、第八下电极（24）分别构成内外两个圆环；所述的第一下电极（17）、第二下电极（18）、第三下电极（19）、第四下电极（20）、第五下电极（21）、第六下电极（22）、第七下电极（23）、第八下电极（24）设置于支撑膜（25）上表面，并与支撑膜（25）上表面固定连接；所述的第八压电层（16）、第七压电层（15）、第三压电层（11）、第四压电层（12）、第二压电层（10）、第一压电层（9）、第五压电层（13）、第六压电层（14）分别对应设置于第一下电极（17）、第二下电极（18）、第三下电极（19）、第四下电极（20）、第五下电极（21）、第六下电极（22）、第七下电极（23）、第八下电极（24）的上表面，并分别与第一下电极（17）、第二下电极（18）、第三下电极（19）、第四下电极（20）、第五下电极（21）、第六下电极（22）、第七下电极（23）、第八下电极（24）的上表面固定连接；所述的第一上电极（1）、第二上电极（2）、第三上电极（3）、第四上电极（4）、第五上电极（5）、第六上电极（6）、第七上电极（7）、第八上电极（8）分别对应设置于第一压电层（9）、第二压电层（10）、第三压电层（11）、第四压电层（12）、第五压电层（13）、第六压电层（14）、第七压电层（15）、第八压电层（16）的上表面，并分别与第一压电层（9）、第二压电层（10）、第三压电层（11）、第四压电层（12）、第五压电层（13）、第六压电层（14）、第七压电层（15）、第八压电层（16）的上表面固定连接；所述的质量块（26）悬置于第二下电极（18）、第三下电极（19）、第六下电极（22）、第七下电极（23）构成的圆环之下，并与支撑膜（25）固定连接；所述的支撑膜（25）与外框（30）固定连接；所述的敏感芯片（27）与上玻璃板（29）、下玻璃板（28）分别通过键合连接。