[发明专利]可变电阻存储器件及其制造方法无效
申请号: | 201310582995.2 | 申请日: | 2013-11-19 |
公开(公告)号: | CN104241525A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 郑夏彰;李恩侠 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C13/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 俞波;许伟群 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供一种可变电阻存储器件及其制造方法。所述可变电阻存储器件包括:多层绝缘层,形成在形成有下电极的半导体衬底上,并且包括直径在第一高度或更高处增大的多个孔;可变电阻材料层,形成在下电极上至每个孔的第二高度;以及上电极,形成在可变电阻材料层上以掩埋在每个孔中。 | ||
搜索关键词: | 可变 电阻 存储 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种可变电阻存储器件,包括:多层绝缘层,所述多层绝缘层形成在形成有下电极的半导体衬底上,并且包括直径在第一高度或更高处增大的多个孔;可变电阻材料层,所述可变电阻材料层形成在所述下电极上至每个所述孔的第二高度;以及上电极,所述上电极形成在所述可变电阻材料层上以掩埋在每个所述孔中。
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