[发明专利]一种柔性共面波导的制造方法

摘要

本发明是一种柔性共面波导制造方法，通过选择合适的柔性介质材料，在介质材料上通过薄膜沉积、光刻和腐蚀的方法制造柔性共面波导，从而实现柔性射频系统所需的柔性传输线。柔性共面波导将应用于柔性微波器件、柔性微波电路及柔性微波系统中。选用聚酰亚胺柔性衬底材料，采用薄膜沉积设备在衬底上沉积金属薄膜，对金属薄膜进行光刻并腐蚀出所需要的共面波导图形，从而制造出柔性共面波导。使用该方法制造出的柔性共面波导具有尺寸小、集成度高、性能可靠的优点。

主权项

一种柔性共面波导的制造方法，其特征在于该方法按照以下步骤实现：第一步：选择厚度为0.065～0.1mm介电常数为2.8～3.2的聚酰亚胺薄膜材料，使用无水乙醇和丙酮对聚酰亚胺材料进行清洗并烘干；第二步：将清洗烘干后的聚酰亚胺材料放置到磁控溅射设备的真空室中，用夹具装夹在样品架上，在磁控溅射设备的真空室开始放电后，用放电的等离子体对聚酰亚胺材料轰击1～2分钟，然后在聚酰亚胺材料上溅射上1～2微米厚的铝薄膜，沉积完成后用等离子体再对聚酰亚胺材料进行轰击1～3分钟；第三步：将沉积了铝薄膜的聚酰亚胺材料放置于甩膜机上，旋涂2～4微米厚的正性光刻胶，之后放置于烘胶台上，用90～100℃的温度烘烤2～5分钟再降至室温，放置于光刻机上，用共面波导掩模版进行紫外光曝光后取出；第四步：将曝光后的聚酰亚胺材料放入正性光刻胶显影液中进行显影30～40秒，待图形显示出来后从显影液中取出，用去离子水冲洗干净并烘干；第五步：将显影后的聚酰亚胺材料放入铝膜腐蚀液中加热至60～80℃进行腐蚀，腐蚀2～4分钟后，将腐蚀出共面波导图形的聚酰亚胺材料取出，用去离子水冲洗干净并烘干；第六步：将腐蚀出共面波导图形的聚酰亚胺材料放入丙酮中，将聚酰亚胺表面的正性光刻胶去掉，之后用去离子水冲洗并烘干。