[发明专利]用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃无效
| 申请号： | 201310585969.5 | 申请日： | 2008-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103698974A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 毎田繁;大塚久利 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在纳米压印光刻法中，在波长365nm具有最高为10%的内部透射率分布的掺杂二氧化钛的石英玻璃适合作为纳米压印模具使用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 压印 模具 掺杂 氧化 石英玻璃 | ||
【主权项】：
一种掺杂二氧化钛的石英玻璃的纳米压印模具，对于10mm厚的该玻璃层，对于365nm波长的UV辐射，其具有至少80%的内部透射率，且对于365nm波长的UV辐射，其具有最高10%的内部透射率分布，其中，内部透射率分布被定义为在10mm厚的该玻璃层的任意区域测量的内部透射率的最大值和最小值之差。
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