[发明专利]大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法

摘要

本发明涉及一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。现有方法成本高、精度低其效率也较低。本发明的方法为选择透射标准镜头；调整激光波面干涉仪的位置；调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合；调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴；调整标准平面反射镜；旋转干涉仪，使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A；根据子孔径划分方案；重复第六步和第七步。本发明为低成本、高精度、高效率的大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。

主权项

一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步：选择透射标准镜头，并装夹至激光波面干涉仪上；第二步：调整激光波面干涉仪的位置，使激光波面干涉仪的焦点与其调整机构的旋转中心O重合；第三步：调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合；第四步：调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴；第五步：调整标准平面反射镜，使入射至被测抛物面反射镜的光线经平面镜反射后沿原路返回，即形成自准直测量原理；第六步：根据激光干涉仪上所安装透射标准镜头的相对孔径，旋转干涉仪，使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A，用激光波面干涉仪测量被测抛物面此区域的面形误差，数据存盘，并记录激光波面干涉仪的旋转角度；所述子孔径的划分方案：根据激光波面干涉仪标准透镜的相对孔径，可以获得激光波面干涉仪的视场角θ，定义激光波面干涉仪所对准的被测件的区域为第一环上第一个子孔径A，根据两两子孔径重叠面积不小于单一子孔径面积1/4的原则，分别可以获得第一环上的所有子孔径以及其他环上的所有子孔径；第七步：根据子孔径划分方案，使干涉仪依次对准子孔径B、C、D，并利用激光波面干涉仪测量被测抛物面反射镜的对应子孔径区域面形，数据存盘，并记录激光干涉仪和被测抛物面反射镜的相应转动角度；第八步：重复第六步和第七步，直到所有子孔径区域测量完毕，将激光波面干涉仪的旋转角度、标准平面反射镜的旋转角度和激光波面干涉仪的面形误差数据送入主控计算机，将检测得到的多幅子孔径的面形误差图拼接成全口径的面形误差图。