[发明专利]一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的方法及其装置

摘要

一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的方法，包括以下步骤：将需内孔沉积金刚石薄膜的微细拉丝模具至少一个置于真空腔室内，在将两端通有正负电极的热丝设置于拉丝模的正上方，热丝发出高温使气体变为等离子体，同时往真空腔室内通入甲烷和高纯氢，使热丝周围生成等离子团，利用风力驱动将热丝周围的等离子团沉降入拉丝模内孔内，生长成金刚石薄膜。颠覆了现有热丝法沉积金刚石薄膜的方法，有效防止模具内孔很小，热丝在加热过程中自身下垂与抖动损坏模具内孔表面，导致模具直接报废的现象，采用将热丝设置于拉丝模外进行沉积金刚石薄膜，提高了成品率，并且解决了微孔拉丝模沉积金刚石薄膜困难的问题，降低了生产成本。

主权项

一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的方法，包括以下步骤：将需内孔沉积金刚石薄膜的至少一个拉丝模置于真空腔室内，在将两端通有正负电极的热丝设置于拉丝模的正上方，热丝发出高温使气体变为等离子体，同时往真空腔室内通入甲烷和高纯氢，使热丝周围产生等离子团，利用风力驱动将热丝周围的等离子团沉降入拉丝模内孔内，生长成金刚石薄膜。