[发明专利]聚硅氧烷缩合反应物无效
| 申请号： | 201310589077.2 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN103642386A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 森山丽子;斋藤秀夫;高田省三;土井一郎 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | C09D183/10 | 分类号： | C09D183/10;C09D5/25;H01L21/02;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种缩合反应物溶液，其为特别优选用于在形成于基板的开口宽度窄且高长宽比的沟槽内填埋的缩合反应物溶液，其适用期长，在作为沟槽填埋用使用时对沟槽内的填埋性良好，焙烧而形成氧化硅时的固化收缩率小，耐裂纹性和耐HF性优异。本发明提供一种缩合反应物溶液，其包含如下成分：(I)缩合反应物：通过使至少含有(i)以缩合换算量计为40质量%以上99质量%以下的来自由下述通式(1)表示的硅烷化合物的聚硅氧烷化合物、和(ii)1质量%以上60质量%以下的二氧化硅颗粒的缩合成分进行缩合反应而获得；以及(II)溶剂，且该由通式(1)表示的硅烷化合物为至少含有通式(1)中的n为0的4官能硅烷化合物、和通式(1)中的n为1的3官能硅烷化合物的2种以上的硅烷化合物。R1nSiX14-n (1)[式(1)中，n为0～3的整数、R1为氢原子或碳原子数1～10的烃基，X1为卤素原子、碳原子数1～6的烷氧基或乙酰氧基]。 | ||
| 搜索关键词： | 聚硅氧烷 缩合 反应物 | ||
【主权项】：
一种缩合反应物溶液，其包含如下成分：(I)缩合反应物：通过使至少含有(i)以缩合换算量计为40质量%以上99质量%以下的来自由下述通式(1)表示的硅烷化合物的聚硅氧烷化合物、和(ii)1质量%以上60质量%以下的二氧化硅颗粒的缩合成分进行缩合反应而获得；以及(II)溶剂，R1nSiX14‑n (1)式(1)中，n为0～3的整数、R1为氢原子或碳原子数1～10的烃基，X1为卤素原子、碳原子数1～6的烷氧基或乙酰氧基，且该由通式(1)表示的硅烷化合物为至少含有通式(1)中的n为0的4官能硅烷化合物、和通式(1)中的n为1的3官能硅烷化合物的2种以上的硅烷化合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成电子材料株式会社，未经旭化成电子材料株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310589077.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：行式喷墨头及喷墨装置
- 下一篇：具有横梁的制冷器具
- 同类专利
- 专利分类
C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
