[发明专利]一种垂直结构的白光LED芯片及其制造方法在审
申请号: | 201310592285.8 | 申请日: | 2013-11-22 |
公开(公告)号: | CN104659187A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 熊传兵;肖伟民;刘声龙;赵汉民 | 申请(专利权)人: | 晶能光电(江西)有限公司 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/48 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明提供一种垂直结构的白光LED芯片及其制造方法,包括如下步骤:在生长衬底上外延生长铟镓铝氮半导体发光薄膜,形成垂直结构的铟镓铝氮发光二极管晶圆片,在所述晶圆片的电极焊盘上形成一层掩膜层,在所述晶圆片上涂覆一层混有荧光粉的硅胶,形成一层荧光粉硅胶层,切割所述电极焊盘上的荧光粉硅胶层,使其与晶圆片台面上的其他硅胶分离,刻蚀所述电极焊盘上的掩膜层及荧光粉硅胶层,暴露出电极焊盘,对所述晶圆片划片获得单颗芯片。本发明提供的白光LED芯片的封装工艺简单,不需要荧光粉点胶工艺,同时发出的白光亮度均匀,且出光率高,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 结构 白光 led 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种垂直结构的白光LED芯片的制造方法,其特征在于包括:在生长衬底上外延生长铟镓铝氮半导体发光薄膜,形成垂直结构的铟镓铝氮发光二极管晶圆片;在所述晶圆片的电极焊盘上形成一层掩膜层;在所述晶圆片上涂覆一层混有荧光粉的硅胶并对其进行热固化,形成一层荧光粉硅胶层;切割所述电极焊盘上的荧光粉硅胶层,使其与晶圆片台面上的其他硅胶分离;刻蚀所述电极焊盘上的掩膜层及荧光粉硅胶层,暴露出电极焊盘;对所述晶圆片划片获得单颗芯片。
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