[发明专利]一种进气装置及反应腔室

摘要

本发明涉及一种进气装置及反应腔室，进气装置设置于反应腔室的顶部，其包括进气喷嘴和石英盖；其中，进气喷嘴包括进气通道和喷淋板；进气通道的下端与喷淋板垂直连接；喷淋板上设置有多个通气孔，进气通道下端与所述通气孔连通；进气通道从石英盖的下方插入固定在石英盖上，使喷淋板与石英盖之间形成匀流层；进气通道下端设有缓冲通气孔，缓冲通气孔与匀流层连通，使部分工艺气体通过进气通道进入匀流层，然后通过喷淋板上的通气孔进入反应腔室。上述进气装置可以使反应腔室内工艺气体分布的均匀性提高，从而可以在工艺过程中提高工艺的均匀性；同时，还可以使石英盖具有较高的结构强度；并使其对石英盖上方的结构布局的限制减小。

主权项

一种进气装置，设置于反应腔室的顶部，其特征在于，所述进气装置包括进气喷嘴和石英盖；其中，所述进气喷嘴包括进气通道和喷淋板；所述进气通道的下端与所述喷淋板垂直连接；所述喷淋板上设置有多个通气孔，所述进气通道下端与所述通气孔连通；所述进气通道从所述石英盖的下方插入固定在石英盖上，使所述喷淋板与所述石英盖之间形成匀流层；所述进气通道下端设有缓冲通气孔，所述缓冲通气孔与所述匀流层连通，使部分工艺气体通过所述进气通道进入所述匀流层，然后通过所述喷淋板上的通气孔进入反应腔室。