[发明专利]一种托盘支撑装置及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201310595515.6 申请日: 2013-11-22
公开(公告)号: CN104658844A 公开(公告)日: 2015-05-27
发明(设计)人: 叶华 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01J37/20;H01J37/244
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种托盘支撑装置及等离子体加工设备;其包括托盘、支撑件、电源和第一检测装置,其中,托盘采用导电材料制成,用于承载被加工工件;支撑件采用导电材料制作,用于支撑托盘,支撑件包括第一支撑件和第二支撑件,第一支撑件与电源电连接,第二支撑件的数量为一个或多个;第一检测装置的数量与第二支撑件的数量相对应,且与其一一对应地电连接,第一检测装置用于检测与之电连接的第二支撑件是否与托盘相接触。上述托盘制成装置可以检测每个支撑件与托盘是否相接触,并进而确定托盘相对于托盘支撑装置是否处于正常位置。
搜索关键词: 一种 托盘 支撑 装置 等离子体 加工 设备
【主权项】:
一种托盘支撑装置,其特征在于,包括托盘、支撑件、电源和第一检测装置,其中,所述托盘采用导电材料制成,用于承载被加工工件;所述支撑件采用导电材料制作,用于支撑所述托盘,所述支撑件包括第一支撑件和第二支撑件,所述第一支撑件与电源电连接,所述第二支撑件的数量为一个或多个;所述第一检测装置的数量与所述第二支撑件的数量相对应,且与其一一对应地电连接,所述第一检测装置用于检测与之电连接的第二支撑件是否与所述托盘相接触;并且连接所述第一支撑件与所述电源的电路和连接所述第二支撑件与相应的第一检测装置的电路之间不导通,且在所述第二支撑件的数量为多个时,各个连接所述第二支撑件与相应的第一检测装置的电路之间不导通;或者,连接所述第一支撑件与所述电源的电路和连接所述第二支撑件与相应的第一检测装置的电路之间导通,且在所述第二支撑件的数量为多个时,各个连接所述第二支撑件与相应的第一检测装置的电路之间相互并联。
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