[发明专利]基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置

摘要

发明涉及一种基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法及装置，属电解加工技术领域。该方法包括以下步骤：1.运用常压等离子表面处理机对PDMS模板表面进行处理；2.将表面经过等离子处理的两块PDMS掩模板与工件阳极表面紧密贴合；3.分别将工件阳极和工具阴极与电源正负极相连；4.在工具阴极和模板之间通入电解液，电解液通过模板中的贯穿群孔到达工件阳极表面；5.接通电源进行电解加工。本发明可以实现工件与模板的紧密贴合，简化夹具设计，有效减弱加工区域周围的杂散腐蚀，提高电解加工的定域性。

主权项

一种基于PDMS掩模的海量阵列群小孔电解加工方法，其特征在于，包括以下步骤：（a）    利用常压等离子表面处理机对上PDMS模板（2‑1）的下表面和下PDMS模板（2‑2）的上表面进行处理，提高其与金属的结合强度，上PDMS模板（2‑1）和下PDMS模板（2‑2）具有贯穿群孔，且结构一致；（b）    将上PDMS模板（2‑1）的下表面与工件阳极（5）的上表面紧密贴合，下PDMS模板（2‑2）的上表面与工件阳极（5）的下表面紧密贴合；（c）    使上工具阴极（3‑1）位于上PDMS模板（2‑1）上方，使下工具阴极（3‑2）位于下PDMS模板（2‑2）下方，且上工具阴极（3‑1）到上PDMS模板（2‑1）的距离，等于下工具阴极（3‑2）到下PDMS模板（2‑2）的距离；（d）    使工件阳极（5）和上工具阴极（3‑1）分别与电源（6）正负极相连；工件阳极（5）和下工具阴极（3‑2）分别与同一电源（6）正负极相连；（e）    在上工具阴极（3‑1）和上PDMS模板（2‑1）之间，下工具阴极（3‑2）和下PDMS模板（2‑2）之间通入电解液（4），电解液通过上PDMS模板（2‑1）和下PDMS模板（2‑2）中的贯穿群孔到达工件阳极（5）上、下表面；（f）    接通电源（6）进行电解加工。