[发明专利]一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备有效
| 申请号： | 201310596052.5 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN104651929B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 姜大川;王登科;安广野;郭校亮;谭毅 | 申请（专利权）人： | 青岛昌盛日电太阳能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备，该方法首先将炉体和电子枪抽真空，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，最后通过水冷传输带引导进入铸锭装置中，进行定向长晶，得到多晶硅铸锭，该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件，铸锭耦合组件包括铸锭装置，铸锭装置位于水冷传输带下方，且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方，本发明首次提出了电子束熔炼除氧的工艺方法和用途，实现了电子束除氧的效果，同时结合铸锭耦合，降低了铸锭加热原料所需的能耗，大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 熔炼 多晶 铸锭 耦合 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法，其特征在于：首先将炉体和电子枪抽真空，预热电子枪；然后通过加料装置向电子束熔炼炉水冷传输带上连续加入多晶硅料，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；初步除氧后的多晶硅液沿水冷传输带向下流动并在辐 射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，得到除氧后的多晶硅液；最后将除氧后的多晶硅液通过导流口引导进入铸锭装置中，进行定向长晶铸锭工艺，得到多晶硅铸锭。
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