[发明专利]研磨机研磨盘测量装置在审
| 申请号： | 201310597159.1 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN104654989A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 程路平 | 申请（专利权）人： | 铜陵市精品工具模具有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人： | 程霏 |
| 地址： | 244000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了研磨机研磨盘测量装置，其特征是包括“L”型底座（1），所述的“L”型底座（1）侧边固接有一个固定脚（2），所述的“L”型底座（1）底边外侧固接有两个固定脚（2），所述的“L”型底座（1）底边内侧固接有三个千分表（3），所述的三个千分表（3）的中心处于同一水平面。采用了上述方案，使每天测量研磨盘的精确度更高，可以精确到半丝以内。相对于一般的测量方法只精确到5丝以内有了极大的提高，这样研磨出的晶片频率更准确、更集中，大大提高了产品品质与合格率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨机 研磨 测量 装置 | ||
【主权项】：
研磨机研磨盘测量装置，其特征是包括“L”型底座（1），所述的“L”型底座（1）侧边固接有一个固定脚（2），所述的“L”型底座（1）底边外侧固接有两个固定脚（2），所述的“L”型底座（1）底边内侧固接有三个千分表（3），所述的三个千分表（3）的中心处于同一水平面。
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