[发明专利]一种背钝化MWT光伏电池的制造方法

摘要

本发明公开了一种背钝化MWT光伏电池的制造方法，其结合MWT和背钝化工艺，提出一种适于现有光伏电池生产线的制造工艺，以较低的改造成本，制造出效率更高、工艺更为复杂的光伏电池片。

主权项

一种背钝化MWT光伏电池的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将P型硅片依次经过清洗工艺、制绒工艺、扩散工艺；2）再经过背面抛光和磷硅玻璃去除工艺，之后进行清洗；3）硅片背面生长与P型硅片接触的氧化铝层、以及与氧化铝层接触的保护层，从而形成由氧化铝层和保护层组成的叠层膜；4）硅片正面减反射薄膜生长；5）硅片贯穿性钻孔形成贯通孔；6）背面叠层膜开孔，露出P型硅片；7）在硅片背面丝网印刷灌孔电极及电池负极；8）背面印刷铝背场，正面印刷栅线，并烧结形成电极。