[发明专利]合成气生产工艺除杂及废氯硅烷液体回收方法

摘要

本发明设计多晶硅生产领域，在三氯氢硅反应器内进行化学反应生成多种化合物合成气要进行除杂和分离，现有的工艺在精馏塔内存在着较大的颗粒团胶状物，极易堵塞深冷系统及控制仪表，导致工艺不能正常稳定连续运行，为此本发明采用了板式精馏，加压沉降和搅拌蒸发的联合工艺，以精馏塔代替淋洗塔减轻了后续冷凝系统的压力，用加压沉降处理重组分，蒸发过程中采用冷凝器冷凝，在一定程度上实现了常压蒸发，本发明具有整个流程简单，工艺稳定，成本低，环保的有益效果。

主权项

合成气生产工艺除杂及废氯硅烷回收方法，具有湿法除尘，沉降分离、蒸发分离，其特征为：（1）合成气从塔釜进入板式精馏塔，进行湿式除杂，除杂后的气体从塔顶采出，从精馏塔釜底部排出大部分重组分及杂质；（2）精馏塔釜液进入压力沉降器进行加压自然沉降2‑7小时，清澈液体从沉降器侧向采出，流至氯化硅储罐，下端为浓缩沉降液；（3）沉降液进入搅拌式蒸发器进行密闭蒸发，蒸发气化后的四氯化硅回收到深冷器，冷却液回收至氯硅烷储罐，被蒸干的金属氯化物废渣从蒸发器中排放至残液装置处理；（4）氯硅烷储罐中回收液再至板式精馏塔分离提纯。