[发明专利]一种微小尺寸芯片固定装置

摘要

本发明涉及半导体制造行业的失效分析领域，尤其涉及一种应用于光发射显微镜的固定装置，包括底座和位于该底座上的若干条挡块，且该底座与所述若干条挡块共同构成承载主体；所述若干条挡块之间形成了多个样品槽，且每相邻的两条挡块之间分别设置有一条滑块。该结构使得本发明的芯片测试结构不会被胶带遮挡而影响到探针扎针，芯片表面也不会受到污染；同时，芯片背面与固定装置底座充分接触，不会因倾斜而影响光发射显微镜的镜头聚焦；再次，当探针进行扎针时，针尖与芯片不会发生相对滑动，而且整个操作过程不涉及化学物品，安全无害。从而可以帮助分析人员快速、高效、安全地进行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。

主权项

一种微小尺寸芯片固定装置，应用于采用光发射显微镜对芯片进行的失效定位测试中，其特征在于，所述固定装置包括承载主体、滑块和固定螺栓，所述滑块通过所述固定螺栓与所述承载主体连接；所述承载主体包括一底座和若干个固定设置于所述底座上表面的挡块，位于任意两个相邻所述挡块之间的底座表面和该两个相邻挡块共同形成一样品槽；所述固定螺栓贯穿所述挡块的中部，伸入所述样品槽内；所述固定螺栓的位于所述样品槽内的一端与一个所述滑块的中部实现可脱卸连接，且所述螺栓并未穿通所述滑块；其中，所述底座由透明材料制成。