[发明专利]玻璃晶片检测装置与标定方法

摘要

一种玻璃晶片检测装置与标定方法，适用于玻璃晶片的瑕疵检测，可对玻璃晶片表面划痕，表面在制作工艺过程中（如镀膜）形成的瑕疵（暗或亮的斑点等）以及晶片内部瑕疵进行高精度的定位和提取，给出瑕疵的精确位置，尺寸和光学特性，为玻璃晶片生产质量检测和控制提供依据，并能根据用户设定标准，判断晶片等级。本发明具有检测速度快，精度高，操作自动化程度高的特性，为微小瑕疵检查提供了一套整体解决方案。

主权项

一种玻璃晶片检测装置，其特征在于，该检测装置包含移动检测平台（1），运动机构，成像系统（3），光源系统（4），晶片固定装置（8）和靶标系统（7），所述的移动检测平台（1）包含上层平台（101）和下层平台（102），所述的上层平台（101）和下层平台（102）之间稳固连接并保持平行，所述的运动机构包含安装在相连的稳固底座上的移动台X，Y方向和旋转U方向运动机构（201）和垂直Z方向运动机构（202），所述的上层平台（101）承载待检测玻璃晶片，所述的下层平台（102）与垂直Z方向运动机构（202）连接，或者与垂直Z方向运动机构（202）集成为一体，所述的成像系统（3）固定在垂直Z方向运动机构（202）上，所述的光源系统（4）设置在上层平台（101）和下层平台（102）之间，所述的晶片固定装置（8）和靶标系统（7）设置在上层平台（101）上，所述的成像系统（3）包含光学透镜和摄像机；所述的上层平台（101）上设置晶片开孔（1011），所述的晶片开孔（1011）位于上层平台（101）中央，该晶片开孔（1011）的尺寸小于被检测晶片的尺寸，以便将待检测晶片能平稳放置于其上；所述的晶片固定装置（8）包含若干圆形固定装置（801）和紧固装置（802），所述的圆形固定装置（801）和紧固装置（802）沿上层平台（101）的晶片开孔（1011）边缘分布，所述的圆形固定装置（801）为突出的圆柱形，该圆形固定装置（801）的中心开设微细圆孔，该圆形固定装置（801）的半径是已知的或可以精确测量的，所述的紧固装置（802）为带弹簧的销子；所述的靶标系统（7）包含靶标和靶标开孔（702），该靶标为方形或矩形镀膜玻璃，该靶标开孔（702）位于上层平台（101）边缘，该靶标开孔（702）的尺寸小于靶标，该靶标开孔（702）上设置有与靶标尺寸相同的凹槽，该凹槽和靶标的中心位置重合，这样使靶标能够嵌入到上层平台（101），靶标上表面与上层平台（101）上面平齐，靶标的边缘与移动检测平台（1）的上层平台（101）的边缘平行，光源系统（4）的光可以通过靶标开孔（702）将靶标投射到摄像头成像，靶标的宽度方向成像不超出摄像头视场范围，长度方向上超出摄像头视场，从而可以标定移动机构移动特性。