[发明专利]一种膜片式光纤F-P腔压力传感器温度补偿方法

摘要

本发明涉及一种膜片式F-P腔压力传感器温度补偿方法，属于光纤传感和压力测量及健康监测领域。首先选取玻璃7740材料制作腔底，同时采用硅制作F-P腔膜片，厚度为40μm；其次根据材料的热膨胀系数，玻璃的为3.3×10-6，硅片的为2.4×10-6，同时考虑到与硅的亲和性与柔韧性，选用钛进行真空溅射镀膜，其热膨胀系数为10.8×10-6，膜厚为100nm；然后采用研磨、抛光仪器对硅及玻璃表面进行预处理，并采用高温键合方法将两者固定一起，腔体为真空环境；最后采用环氧树脂胶粘剂将传输光纤固定于腔底的下侧。本发明流程简单，易于实现可以代替复杂的软件算法进行的温度补偿。

主权项

一种膜片式F‑P腔压力传感器温度补偿方法，其特征在于：通过以下步骤实现：①选取玻璃7740材料制作腔底，同时采用硅制作F‑P腔膜片，厚度为40μm；②根据材料的热膨胀系数，玻璃为3.3×10‑6，硅片为2.4×10‑6，同时考虑到与硅的亲和性与柔韧性，选用钛金属进行真空溅射镀膜，其热膨胀系数为10.8×10‑6，膜厚为100nm，以保证其拉力不至于过大；③采用研磨、抛光仪器对硅及玻璃表面进行预处理，然后采用高温键合方法将两者固定一起，腔体为真空环境；④采用环氧树脂胶粘剂将传输光纤固定于腔底的下侧。