[发明专利]一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工系统及光刻方法

摘要

本发明涉及一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的光刻加工系统及光刻方法，该光刻加工系统包括能够对矢量曲线进行解析、分解、合成计算功能的控制系统和由该控制系统控制实现的曝光系统，象元角度控制系统。该光刻系统依据矢量曲线，通过分析该曲线的结构，分解成曲线的路径和象元角度控制数据，然后根据这些数据，在光刻胶版上进行刻蚀，实现基于矢量曲线路径的象元可变角度的刻蚀。通过本发明的实施，可以对任意形状曲线进行刻蚀，在曲线路径上有规律的象元分布，并且有光滑的线形、较高的刻蚀效率和精确度等优点。

主权项

一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工系统，其特征在于所述的加工系统由曝光系统和控制系统组成，所述曝光系统包括光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑、第二光学镜头组，所述可变象元是个空间光象元调制器，所述分光器件是个空间光调制器，所述第一光学镜头组和第二光学镜头组组成一个缩放的只能紫外光透过的投影光学镜头组，所述可变光阑由一组孔径可调的通孔装置组成，可变光阑能阻挡0极光、±1极光或±2极光的不同组合，形成能通过各极光的通孔，该曝光系统由光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑、第二光学镜头组自上至下排列组成，所述控制系统包括用于进行曲线分析和编码的计算机和利用编码数据进行曝光控制的驱动控制器，驱动控制器包括一个用于控制象元角度变化的驱动电机，以及用于驱动整个系统移动的二轴驱动电机。