[发明专利]一种刻蚀衍射光栅型波分复用/解复用器有效
申请号: | 201310616114.4 | 申请日: | 2013-11-27 |
公开(公告)号: | CN103645540B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 王玥;张家顺;安俊明;吴远大;王红杰;李建光;胡雄伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/124 | 分类号: | G02B6/124;G02B6/122 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种刻蚀衍射光栅型波分复用/解复用器,包括输入波导、输出波导、自由传输平板波导区和刻蚀衍射光栅,输入波导和输出波导位于自由传输平板波导区的同一侧,并均与自由传输平板波导区相连,自由传输平板波导区的另一侧与刻蚀衍射光栅相连,刻蚀衍射光栅的光栅面采用二维光子晶体反射镜结构。采用二维光子晶体反射镜结构替代常规刻蚀衍射光栅的光栅面,可以有效降低器件制作工艺难度,有效降低光栅介质与空气界面之间存在着的较大的菲涅尔反射损耗,从而降低器件的插入损耗;并可实现单一偏振模式的全反射,而另一偏振模式则全部透射,实现器件的偏振保持。 | ||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 衍射 光栅 型波分复用 解复用器 | ||
【主权项】:
一种刻蚀衍射光栅型波分复用/解复用器,包括输入波导(1)、输出波导(2)、自由传输平板波导区(3)和刻蚀衍射光栅(4),其中,输入波导(1)和输出波导(2)位于自由传输平板波导区(3)的同一侧,并均与自由传输平板波导区(3)相连,自由传输平板波导区(3)的另一侧与刻蚀衍射光栅(4)相连,所述刻蚀衍射光栅(4)的光栅面采用二维光子晶体反射镜结构(5);其中,所述二维光子晶体反射镜结构(5)为二维平板三角晶格空气孔型光子晶体结构;所述输入波导(1)与自由传输平板波导区(3)之间接入第一渐变展宽波导结构(6);所述输出波导(2)与自由传输平板波导区(3)之间接入第二渐变展宽波导结构(7)。
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